理想模型和实际问题的差别

最近做一个Wafer的变形计算。

因为有实验设备,可以精确的测量实际的形变以确认,测量的精度达到1微米。

自己是做有限元分析的,认为做个形变的计算应该是小菜一碟。 但是实际计算的时候,发现问题重重,比如,各种参数,选定什么样的值比较好?

对于Wafer来说, 有杨氏模量,有Poisson比,关键是,这些参数还是各向异性的,取近似的时候,取什么样的值?

Wafer是通过真空吸附在一个支架上的,所受的外力就大气压力。那么, 大气压力的作用区域是多大? Wafer和支架接触的地方,算作真空还是别的?

关于边界条件,哪里的形变为0?

Wafer自身是有形状的, 并不是绝对平滑的圆盘,这些因素要不要考虑? 实验的测量中表明这个影响还是蛮大的。

计算的结果总是和实际的测量有不同。这时候,你就开始明白理想模型和实际的问题的差别了。

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